特點(diǎn)：
0.1μm粒徑以上的顆粒數(shù)可以降低至＜5個(gè)/ml；
B元素去除要求達(dá)到PPT級(jí)；
出廠均進(jìn)行完整性測(cè)試，保證無泄漏；
采用無死角設(shè)計(jì)，避免微生物滋生。
精密處理系統(tǒng)
半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)超純水中的顆粒物要求非常苛刻，超純水制造中對(duì)于顆粒物和各種元素的最終去除需要采用高精度的去離子和過濾等工藝，并且材質(zhì)的化學(xué)性質(zhì)和結(jié)構(gòu)強(qiáng)度必須非常穩(wěn)定，要求處理精度達(dá)到PPT級(jí)，需要高尖端技術(shù)和經(jīng)驗(yàn)。
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